半导体行业中电流质量问题
半导体行业中电流质量问题
单晶炉,其供电电源为直流电源,通过整流器将交流电转换成直流电,在此过程中产生大量的谐波电流注入电网
晶圆镀膜机,其加热设备运行时产生大量谐波,并且电流大小周期性变化跨度较大。
机械手、晶圆机、半导体机台等各类精密设备,运行中产生大量的谐波,其中存在2、4、6次谐波。
谐波影响
1自身设备坏机
谐波造成设备自身的坏机现象、控制精度不足,导致无良率升高
2自动控制器出错
谐波污染会导致设备的检测模块中引发畸变量、扰乱一般分解计算、造成出错的输出结果的损害
3同母线设备损坏
谐波电流作用在系统阻抗上使电压畸变严重,同母线下的各设备都将受到影响,严重时甚至烧坏
4影响系统稳定
谐波回流进电网会引起其他回路的发热,电子开关误操作、供电电压不稳,甚至生产线停线、半成品的报废
无功补偿问题
电力电容器补偿存在过补欠补问题,且恶劣情况下会出现串联并联谐振,造成电容器谐波过电压与过电流,导致电容器开裂
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